Dentro de la gran variedad de técnicas de depósito de materiales en película delgada, la técnica de depósito por rocío pirolítico es considerada como una técnica simple, económica y versátil que ha conducido a obtener una gran variedad de materiales en película delgada de buena calidad. A groso modo la técnica se conforma de dos partes; el área de generación y transporte del aerosol y el área de pirolisis. En el área de generación del aerosol, una solución conteniendo el precursor del material a ser depositado es transportada en forma de aerosol hacia las cercanías de un sustrato caliente por medio de un gas de arrastre. Es sobre el sustrato en donde se lleva a cabo la reacción de pirolisis, dando lugar a una película sólida sobre el sustrato.
Dr. Miguel Ángel Aguilar Frutis
Extensión: 67755
maguilarf@ipn.mx
Dr. Gilberto Alarcón Flores
Extensión: 67738
galarcon@ipn.mx
Dr. José Guzmán Mendoza
Extensión: 67772
joguzman@ipn.mx
Dr. Ismael Arturo Garduó Wilches
Extensión del laboratorio: 67738
Aplicaciones Obtención de películas delgadas de óxidos metálicos, óxidos conductores y semiconductores transparentes para aplicaciones en diferentes áreas de investigación tecnológica; tal como óxidos conductores transparentes, dieléctricos, películas delgadas superconductoras, materiales luminiscentes, entre otras. Descripción El equipo de rocío pirolítico ultrasónico consiste de diversos aditamentos y accesorios incorporados dentro de una cámara de acrílico. Como sistema de calentamiento se emplea una tina de estaño fundido, la cual es controlada electrónicamente. El uso de humidificadores ultrasónicos, operando a una frecuencia de aprox. 1 MHz, general el aerosol de la(s) solución(es) quimíca(s). Flujómetros regulan la cantidad de flujo de aire utilizado para transportar el aerosol de la solución a las inmediaciones del sustrato. El empleo de accesorios de vidrio y plástico es también utilizado en el sistema de rocío pirolítico ultrasónico.
Aplicaciones Determinación de propiedades eléctricas como conductividad, resistividad, concentración de portadores y movilidad de semiconductores. Descripción El sistema van der Pauw ECOPIA HMS 3000 es un equipo comercial apropiado para determinar las propiedades eléctricas de varios materiales, semiconductores y compuestos semiconductores (tipo-n y tipo-p), tales como: Si, Ge, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ZnO, TCOs, metales, etc., tanto a 300 K como a 77 K (temperatura ambiente y nitrógeno líquido). Entre otras características, el sistema es capaz de determinar las propiedades eléctricas como resistividad en un rango desde 10-4 W-cm y hasta 107W-cm. El sistema trabaja en un rango de corriente desde 1nA y hasta 20mA y hace uso de un imán permanente con campo magnético de 0.55T. Adicionalmente, el HMS-3000 incluye un software con capacidad para visualizar curvas I-V de la integridad óhmica de los contactos eléctricos realizados sobre las muestras por el usuario.
Aplicaciones Medición de espesores de películas delgadas planas, altura de cráteres y detalles topográficos de interés en la superficie. Cuantificación de parámetros estructurales de superficies. Descripción El perfil de un trazo sobre una superficie se consigue mediante un sensor electromagnético, cuando una punta fina se hace recorrer sobre una sección lineal de la superficie a analizar. Las variaciones de alturas son registradas y el conjunto de datos da lugar a un perfil lineal. La extensión del trazo, la fuerza aplicada sobre la superficie por la punta y otros parámetros son controlados desde una PC quien comanda las mediciones.
Aplicaciones El analizador de impedancias Solatron 1260A es un equipo de investigación para el estudio de propiedades eléctricas de una amplia variedad de materiales. El analizador de respuestas en frecuencia, el Solartron 1260A, es un instrumento muy útil y poderoso para estudios en muchos campos de investigación y aplicación tales como: estudios de corrosión, investigación en baterías y celdas de combustible, celdas solares, biomateriales, cerámicos, etc. Descripción El Solartron 1260A es un instrumento muy preciso para estudiar características eléctricas de materiales. La técnica involucra el análisis de la respuesta eléctrica de un material bajo estudio sujeto a un estímulo eléctrico dependiente del tiempo. De entre otras características, el Solartron 1260A trabaja en un rango de frecuencia desde 10 µHz y hasta 32 MHz. El sistema se encuentra automatizado con un puerto de salida GPIB hacia una PC. A través del software Z-PLOT se comandan las mediciones y se establecen los parámetros de las medidas. Adicionalmente, con el empleo del software Z-VIEW se analizan las respuestas de las mediciones y se extraen las características eléctricas de los diferentes materiales bajo estudio.
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